隨著智能制造技術(shù)的不斷深入，檢測成為了生產(chǎn)過程中越來越重要的一環(huán)，而位移測量是非常重要的一種檢測。目前常用的位移測量系統(tǒng)以激光干涉儀的精度高，是微納位移測量的較好選擇。

按照技術(shù)路線不同，激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀；按結(jié)構(gòu)不同，也可分為傳統(tǒng)激光干涉儀（空間光傳輸）和光纖激光干涉儀。

光纖雙頻激光干涉儀原理及特點

光纖雙頻激光干涉儀基于激光多普勒原理，采用雙頻激光外差干涉技術(shù)和光纖傳輸技術(shù)，它可測量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量，比如位移、振動、速度、加速度、形變等等。

光纖雙頻激光干涉儀兼具雙頻激光干涉儀和光纖激光干涉儀的特點：

采用交流放大器，更穩(wěn)定，抗環(huán)境干擾能力更強；

采用高倍電子細(xì)分，可達納米級分辨率；

采用光纖傳輸，裝調(diào)更便捷，更容易實現(xiàn)多軸同步測量；

大測量速度可達5m/s；

具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。

光纖雙頻激光干涉儀系統(tǒng)構(gòu)成

光纖雙頻激光干涉儀通常由控制器、光纖、干涉儀、被測鏡、上位機軟件等部件組成。

控制器

控制器負(fù)責(zé)產(chǎn)生波長和能量穩(wěn)定的雙頻激光，并通過光纖傳輸至干涉儀；同時收集從干涉儀返回的帶有位移信息的干涉光信號，然后進行光電轉(zhuǎn)換和信號處理。由于采用光纖傳輸，因此控制器可以放在遠離測量區(qū)域的地方，既不占用空間，又可有效減少發(fā)熱對測量精度的影響。

控制器采用網(wǎng)口和USB口將位移測量結(jié)果傳輸至上位機，為客戶提供測量和標(biāo)定。此外，控制器還可提供ABZ正交編碼信號輸出給運動控制器，實現(xiàn)運動反饋控制。

干涉儀

干涉儀負(fù)責(zé)將被測對象的位移信號轉(zhuǎn)換為干涉條紋。根據(jù)被測對象的物理量及自由度不同，可以采用不同類型的干涉儀。

被測鏡

被測鏡是指安裝在被測對象上的反射鏡，包括平面反射鏡和棱鏡反射鏡兩種類型，根據(jù)不同的干涉儀，搭配專門的被測鏡。探針干涉儀不需要反射鏡，可直接測量任何表面，實現(xiàn)真正的非接觸測量。

上位機軟件

上位機根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)對測量的位移數(shù)據(jù)進行分析、計算和結(jié)果顯示。軟件輸出的結(jié)果可為機床、精密運動臺、精密導(dǎo)軌等提供標(biāo)定依據(jù)。

上位機軟件可自動進行余弦誤差補償，消除干涉儀光路安裝不良所導(dǎo)致的誤差。軟件可兼容單軸干涉儀測校和三軸干涉儀測校。

綜上所述，精密位移測量方興未艾，從技術(shù)指標(biāo)上來講，其精度已經(jīng)從微米級跨入納米級；從市場需求上來講，實驗室已經(jīng)進入亞微米及納米級需求階段，但工業(yè)上還處于微米級需求階段；從產(chǎn)品上來講，則呈現(xiàn)出磁柵、容柵、光柵、單頻干涉儀、雙頻激光干涉儀、光纖干涉儀等百花齊放的態(tài)勢。若您有激光干涉儀方面的需求，歡迎咨詢太琴。