YGO新型Verifire HDX干涉儀是為超 高 精度的光學(xué)元件和系統(tǒng)設(shè)計和制造的，可以獲得元件表面的中頻特征信息。系統(tǒng)包含現(xiàn)有Verifire HD的功能-比如QPSI和長壽命穩(wěn)頻的激光器，并增加了重要的增強功能，如刷新行業(yè)水平的分辨率和成像能力，儀器傳遞函數(shù)（ITF）、出眾的中頻特征分析和大坡度表面測試，同時也兼具了ZYGO DynaPhase®系列動態(tài)采集技術(shù)，可以消除震動引起的問題并且能夠在近乎任何環(huán)境中 精 確 計量。

特殊設(shè)計優(yōu)化的分辨率和性能

Verifire HDX系統(tǒng)具有全新的光學(xué)設(shè)計，經(jīng)過嚴(yán)格設(shè)計，可為其所配的3.4kx 3.4k（1160萬像素）傳感器提供突破像素限制的性能，呈現(xiàn)增強的圖像，可以顯示出較低分辨率干涉儀難以辨識的表面特征。這種超 高的空間分辨率不會以損失速度為代價，該系統(tǒng)在全分辨率下以幀率96 Hz運行，比其它高分辨率干涉儀速度快10倍，那些由于采樣速度較慢在采樣的時候會引入震動誤差從而測試 能力受限。

功率譜密度（PSD）和衍射分析工具完善了Verifire HDX系統(tǒng)的中頻特征分析能力，并通過簡單直觀的用戶界面來分析和報告綜合表面特性。

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